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产品详情
EVG 560晶圆键合系统
EVG 560晶圆键合系统的图片
参考报价:
面议
品牌:
亚科电子
关注度:
461
样本:
暂无
型号:
EVG 560晶圆键合系统
产地:
北京
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:亚科电子(香港)有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

产品简介:

EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统

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EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统


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